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苏州建成国内首条6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线

发布时间：2014年10月20日 09:28 来源：
 
 近日，国内首条全开放、市场化运作的6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线在苏州工业园区建成运营。作为江苏省“十二五”重大科技平台项目，该条6英寸MEMS中试线由苏州纳米科技发展有限公司建设，超净场地、厂务配套设施、研发实验室、公共服务等场地建筑面积共16000平方米，其中超净工艺场地建筑面积5200平方米。该条中试线的建成，填补了中国MEMS产业创新链的空白。